第260章 步步惊心(2)
根据中村自己的解释,他是在非常偶然情况下,才得到的这个意外结果。
在重复电子束照射实验前,他不心把工作台给加热了!
于是,他就发现,在电子束辐照过程中,在样品下面加热可以获得更好的结果。对此现象,他又继续研究,进而确认,仅仅依靠加热就可以获得p-gan。
退火工艺的原理,中村大侠并没有给出合理解释。
但从此,热退火就成为了制作蓝光led的标准工艺,沿用至今。
当然了,事情是否真偶然,谁也不知道。
讲故事谁不会?
...
退火工艺的背后原理,在很久以后才被人揭示。
p-gan中的mg会被mocvd外延过程中引入的h钝化,形成mg-h络合物。无论是低能电子辐照还是热退火,都是通过借助外部能量破坏mg-h键而激活mg杂质。
—————————
这两个工艺步骤的实现,足以明中村的逆运气!
前人耗时五六年的成果,他在很短的时间内,全部推翻,而且找到了更好的方式!
而他发现的这些工艺步骤,即使在三十年后,也无人能改!
有没有这么一种可能:
这些工艺,之所以无人能改,因为它们实际就是三十年后的成熟工艺!
但被中村提前拿到了1990年!